光电转换装置的制作方法技术资料下载

技术编号:7256501

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本发明涉及ー种光电转换装置。背景技术作为光电转换装置,已知具有由CIGS等的黄铜矿系I-III-VI族化合物半导体形成的光吸收层的光电转换装置。在日本特开2000-156517号公报中,公开了ー种在形成于基板上的电极上设置了由Cu (In,Ga) Se2等化合物半导体薄膜构成的光吸收层的例子。在该光吸收层上,设置有由CdS构成的缓冲层和由ITO构成的透明导电膜。在这种光电转换装置中,有时会产生黄铜矿结构的一部分成为空洞的缺陷部分。从产生了上述缺陷部分的光吸...
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