技术编号:7256632
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种导电薄膜,包括层叠的TiO2-xFx层及MO3层,其中,x为0.1~0.6,MO3为氧化钨、氧化钼和氧化铼中的至少一种。上述导电薄膜通过在TiO2-xFx层的表面沉积高功函的MO3层制备双层导电薄膜,既能保持TiO2-xFx层的良好的导电性能,又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。专利说明 [0001] 本发明涉及半导体光电材料,特别是涉及导电薄膜、其制备方法、使用该导电薄膜 的有机电致发光器件的基底、其...
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