技术编号：7256975
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种，提供一自下而上依次包括衬底、刻蚀停止层、层间介质层及硬掩模的测试结构，所述刻蚀停止层的厚度与待刻蚀器件中的一致，然后采用预设刻蚀条件对所述测试结构进行刻蚀，形成若干用于互连的盲孔；再测试刻蚀后的测试结构的纵截面形貌，若所述盲孔的下表面低于所述刻蚀停止层的下表面，且所述盲孔的下表面与所述刻蚀停止层下表面的之间的距离小于或等于预设过刻蚀量，则采用所述预设刻蚀条件对待刻蚀器件进行刻蚀。本发明不需要通过特殊制样增厚刻蚀停止层，且不需要预镀铜层，过刻...
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