技术编号:7257036
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种,其中该显示面板包括一种薄膜晶体管基板,而该薄膜晶体管基板的制备过程中,是于源极及漏极与多晶硅层间形成一金属薄膜层,并于退火工艺中,同时掺杂以及活化多晶硅层,而形成金属硅化物,如此可降低显示面板整体的工艺温度于400℃以下。专利说明 [0001] 本发明是关于一种显示面板以及其制备方法,尤指一种用于显示面板的薄膜晶体 管基板及其制备方法。 背景技术 [0002] 由于近年来显示面板的普及化,成为目前市场上的主流商品,为了满足消费...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。