含有具有三角形截面的金属栅格的图像传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:7257896

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本发明涉及一种含有具有三角形截面的金属栅格的图像传感器。背照式图像传感器包含具有前侧及后侧的衬底层。光敏像素的阵列安置在所述衬底层内且对通过所述衬底层的所述后侧入射的光敏感。金属栅格安置在所述衬底层的所述后侧上方。所述金属栅格包围所述光敏像素中的每一者且界定光学孔径用于接收通过所述后侧进入所述光敏像素内的光。所述金属栅格包含相交线,所述相交线每一者具有三角形截面。材料层包围所述金属栅格。专利说明含有具有三角形截面的金属栅格的图像传感器[0001]本发明一般...
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