技术编号：7258126
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示了一种尘埃检测系统，用于检测半导体设备的腔体内的尘埃，包括离子发射系统，用于向晶片提供离子束；电子发射系统，用于发射电子束，所述电子束与所述离子束在腔体内相交汇；电子收集系统，用于收集所述电子束与所述离子束交汇后的剩余电子，并发出剩余电子信息；电子检测系统，用于接收所述剩余电子信息，并对所述剩余电子的电子流的变化进行检测后，发出检测信息；判定系统，根据所述检测信息判断所述剩余电子的电子流是否突变。本发明还揭示了一种尘埃检测方法，可以有效地检测是否...
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