技术编号:7258581
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种。首先,提供基底,此基底包括第一区及第二区。接着,在基底上形成目标层。然后,在目标层上形成第一图案化的光致抗蚀剂层,此第一图案化的光致抗蚀剂层在第一区具有多个开口,并且在第二区上的第一图案化的光致抗蚀剂层至少有一部分的厚度小于在第一区上的第一图案化的光致抗蚀剂层的厚度。之后,在第一开口之中以及第一图案化的光致抗蚀剂层上形成第二光致抗蚀剂层。本发明提供的仅利用一道光罩工艺即可在基底的第一区及第二区上形成具有不同厚度的第一图案化的光致抗蚀剂层,此...
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