技术编号:7258978
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了。在本发明的不同方面,半导体衬底处理系统可以包括静电卡盘,用于保持附接至电绝缘载体的半导体衬底;以及交流电源,电耦接至所述静电卡盘。专利说明[0001]本发明的各方面大体上涉及用于在半导体加工期间固定衬底的静电卡盘。背景技术[0002]作为半导体器件生产过程的一部分,通常需要支撑例如半导体衬底,该半导体衬底充当组成在器件中的不同器件层的衬底。通常使用的是称为卡盘的器件。机械卡盘通常包括用于支撑衬底的某些类型的机械销。这种类型的装置的问题是其倾向...
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