防止芯片裂纹的顶针方法技术资料下载

技术编号:7259095

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本发明公开了一种,包括1)设计一种顶针装置,该顶针装置包括次顶针、主顶针和主次顶针控制模块,次顶针和主顶针设于主次顶针控制模块上;其中,次顶针,用于使芯片部分剥离,以减轻主顶针的负载■’主顶针,用于使芯片二次剥离;主次顶针控制模块,用于控制次顶针和主顶针的操作;2)调整主次顶针均处于待用状态,并控制顶针装置上升;3)利用次顶针进行第一次剥离,使部分芯片与蓝膜相剥离;4)利用主顶针进行第二次剥离,再使芯片与蓝膜相剥离;5)经拾取头,把芯片取拾走。本发明可有效...
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