技术编号:7259267
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种LDMOS晶体管及其形成方法,其中LDMOS晶体管包括具有阱区的衬底;位于阱区内的漏区;位于阱区内、环绕所述漏区的环形源区;位于所述衬底上的环形栅介质层、位于环形栅介质层上的环形栅极,漏区位于所述栅极内侧,源区位于所述栅极外侧;还包括位于所述栅极内侧阱区内的漂移区,漏区位于所述漂移区内,所述漂移区和所述栅极内侧边缘部分在垂直衬底表面方向上具有环形叠置部分;位于所述漂移区内的至少一个环形隔离结构,所述隔离结构环绕所述漏区,最外圈所述隔离结构和所...
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