技术编号:7259270
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,包括提供衬底;在衬底正面上形成伪栅极;在衬底正面上形成第一层间介质层,进行平坦化直至露出伪栅极;去除伪栅极以形成沟槽;形成金属栅极叠层,覆盖第一层间介质层并填充沟槽,进行平坦化以在沟槽内形成金属栅极;形成金属栅极之后,对衬底正面进行边缘清洁处理,以使衬底侧壁至预定距离的环形区域上的金属栅极叠层被去除。由于增加了对衬底正面进行边缘清洁处理的步骤,使得衬底侧壁至预定距离的环形区域上的金属栅极叠层有被去除,且形成第二层间介质层之后,第二层间介质层能够牢靠地...
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