技术编号:7259272
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种传感元件,该传感元件包括基板以及固定于该基板上的源电极和漏电极,且源电极和漏电极之间电连接有石墨烯膜,其特征在于,石墨烯膜与基板之间具有空腔。本发明还提供了一种传感元件的制备方法、该制备方法得到的传感元件和一种传感器。通过上述技术方案,本发明大幅度地提高了传感器中的石墨烯的电导率。专利说明传感元件及其制备方法和传感器 [0001]本发明涉及生物仪器工程领域,具体地,涉及一种传感元件、一种传感元件的制备方法、该制备方法得到的传感元件和一...
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