技术编号:7259735
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种用于化学气相沉积的晶圆传输装置,设置在化学气相沉积设备的反应腔内,所述化学气相沉积设备包含驱动系统,该驱动系统包含电机及与电机连接的驱动轴;本发明晶圆传输装置包含陶瓷底盘,所述陶瓷底盘的中心与化学气相沉积设备的驱动轴连接;设置在陶瓷底盘上表面的多个固定片,各所述固定片材料为陶瓷,各所述固定片分别通过螺丝与陶瓷底盘连接;设置在陶瓷底盘与各所述固定片之间的多组传输手,各所述传输手沿着陶瓷底盘的径向设置。本发明能够在化学气相沉积生产中传输晶圆,并...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。