技术编号:7259841
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体涉及半导体处理领域,并在特定的示例性实施方式中,涉及在处理室中控制颗粒数的系统和方法。背景技术在半导体器件的制造中,经常将一些处理室进行连接以容许晶片或衬底例如在连接室之间的传输。通常利用使晶片移动例如通过槽或端口的传输模块执行该传输,该槽或端口设置在连接室的相邻壁中。传输模块通常结合各种晶片处理模块(PM)使用,PM可包括半导体蚀刻系统、材料沉积系统和平板显示器蚀刻系统。由于这些半导体器件几十年前就开始推行,其几何(S卩,集成电路设计规则)尺寸...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。