技术编号：7259852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机电开关装置，例如微机电开关装置或纳机电开关装置，并涉及其操作方法。背景技术具有微米和纳米范围的尺寸的机电开关，也被称为微机电(MEM)和纳机电(NEM)开关，被认为是诸如晶体管和pin 二极管的传统固态开关的有吸引力的备选者。这是因为其具有较小的功率要求且具有较理想的开关特性(低损耗、线性、快速切换)。与固态开关相t匕，通过机电开关执行的切换操作包括两个开关部分相对于彼此在断开(“打开”)位置与连接(“闭合”)位置之间的机械致动或运动，从而阻止...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。