技术编号:7260785
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了基于纳米硅薄膜复合阳极的微腔式OLED及其制作方法,采用甚高频增强型等离子体化学气相沉积技术制备P型掺杂纳米晶硅薄膜材料,并使其与ITO一起构成OLED的复合阳极,此复合阳极具有吸收率低、近似半反半透的光学特性,与高反射率的阴极Al使OLED产生了微腔效应,使得器件出光强度增大,电流效率和功率效率均有显著提高;而且,微腔的色坐标较常规OLED器件的色坐标有很大的改善,更加接近于标准值。这说明由于微腔效应使器件出光的色纯度更好,这有利于三基色合成...
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