技术编号:7261767
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供与以往相比实现氮化镓结晶更低的错位化,能实现氮化镓结晶更高的品质化的氮化镓结晶生长用蓝宝石基板、氮化镓结晶的制造方法及氮化镓结晶。一种氮化镓结晶生长用蓝宝石基板(10),其在蓝宝石基板(11)的C面上形成多个微小凸部(12),以朝向蓝宝石基板(11)的a轴方向距C面的角度为43.2度的面为基准面,距该基准面±10度以内的区域(13)占微小凸部(12)的表面积的5%以上的比例。一种氮化镓结晶的制造方法,其使氮化镓结晶(14)在该氮化镓结晶生长用蓝宝...
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