技术编号：7261780
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种平面型薄膜热电器件的制作方法和制作装置，该方法包括步骤一制作镂空掩模板（7、8、9），该镂空掩模板的镂空图案用于限定薄膜热电器件的至少部分图案，将衬底（1）固定在衬底托（6）上；步骤二在衬底托和镂空掩模板上分别形成位置相对的至少一套定位孔（10），每套定位孔中包括至少三个定位孔，通过在定位孔上放置定位滚珠（11）以将镂空掩模板间隔地定位安装在衬底托上；步骤三将衬底托和镂空掩模板装夹固定，利用物理气相沉积技术并透过镂空掩模板在衬底上完成该镂空...
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