技术编号:7262392
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种用于转盘的定位装置,包括感应片,设置在所述转盘外沿上并能够随所述转盘同步转动;第一定位传感器,用于检测所述感应片,所述第一定位传感器设置于所述感应片下方并能够随所述转盘的驱动装置同步转动;控制器,该控制器能够根据所述定位传感器检测所述感应片的检测结果判断所述转盘的位置是否异常。本发明还提供一种包括该定位装置的转盘机构,以及应用该转盘机构的刻蚀设备。本发明能够在转盘运行过程中监测转盘的位置是否异常,同时还可以对转盘的转动位置进行定位。专利说明一...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。