技术编号:7263101
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体涉及半导体加工设备,包括但不限于离子注入系统,更具体地,涉及一种静电夹头,所述静电夹头具有静电环以及用于离子注入应用中的受热中央部分。 背景技术静电夹具或夹头(ESC)通常用在半导体工业中,用于在基于等离子或基于真空的半导体工艺(例如,离子注入、蚀刻、化学气相沉积(CVD)等)期间将工件或衬底夹持和保持在相对于支撑或夹持表面的固定的位置。ESC的静电夹持能力以及工件温度控制经证实在加工半导体衬底或晶片(例如,硅晶片)中相当有用。例如,典型的ESC...
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