技术编号:7263658
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于处理衬底或衬底对的装置。本发明涉及用于处理衬底、尤其晶片(15)的一种装置,该装置具有至少一个预处理模块(9)、至少一个后处理模块(11)以及至少一个主处理模块(10),其中该预处理模块(9)和该后处理模块(11)作为该主处理模块(10)的闸是可开关的。专利说明 用于处理衬底或衬底对的装置[0001]本发明涉及一种根据权利要求1所述的用于处理衬底或衬底对、尤其是作为晶片对的晶片的装置。背景技术[0002]半导体技术的处理设备或装置大多是模块化构造的。所...
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