技术编号:7264271
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种静电吸盘,其能够将吸附保持的处理对象物维持在所希望的温度。具体而言,其特征为,具备陶瓷电介体基板,其为多结晶陶瓷烧结体,具有放置处理对象物的第1主面和第1主面相反侧的第2主面;电极层,内设于陶瓷电介体基板的第1主面与第2主面之间,一体烧结于陶瓷电介体基板;调温板,设置在第2主面侧;及加热器,设置在电极层与调温板之间,陶瓷电介体基板具有第1电介层,位于电极层与第1主面之间;及第2电介层,位于电极层与第2主面之间,陶瓷电介体基板的第1电介层与第2...
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