技术编号:7264326
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种,无结晶体管包括基底;形成于基底上的鳍,鳍的顶部在垂直于鳍延伸方向的截面呈半圆形,鳍具有第一掺杂类型的掺杂离子,并且离子浓度从鳍表面到鳍中心逐渐递减;横跨于鳍上的栅极结构;位于栅极结构两侧鳍中的源极和漏极,源极和漏极具有第一掺杂类型的掺杂离子。制作方法包括提供基底;图形化基底,形成鳍;对鳍的顶部进行至少一次的圆化处理,使鳍的顶部在垂直于鳍延伸方向的截面呈半圆形;对鳍进行第一掺杂类型的离子掺杂,使离子浓度从鳍表面到鳍中心逐渐递减;在鳍上形成横跨...
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