技术编号:7264840
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种用ICP干法刻蚀对ITO表面进行粗化处理的方法;首先将外延片清洗干净,随后将其固定于蒸镀机内,进行正常的ITO蒸镀,待ITO蒸镀完毕后,取出上述产品,同时将其置于ICP腔体内,通入Ar气,对ITO表面进行粗化处理;本工艺具有操作简单可行,按照上述流程处理后的ITO表面粗糙度较高,光线从LED芯片内部射出时,不易在ITO表面形成镜面反射,极大的提高了LED芯片的出光效率。专利说明一种ITO表面粗化处理方法[0001]本发明涉及光电,尤其是一种...
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