技术编号:7265594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种波束成形器、采用该波束成形器的退火系统、对基底进行热处理的方法和制造半导体装置的方法。所述处理系统包括能量源,产生沿着能量束路径发射的能量束。波束截面成形器沿着能量束路径布置,接收入射能量束并修改入射能量束的截面形状以输出形状修改的能量束。波束强度成形器沿着能量束路径布置,接收具有第一强度轮廓的入射能量束并输出具有第二强度轮廓的强度被修改的能量束,其中,所述第一强度轮廓在其中心区域具有相对最大平均强度,第二强度轮廓在其中心区域具有相对最小平均...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。