技术编号：7265604
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供的蓝宝石图形化衬底的制备方法，通过在所述蓝宝石衬底上旋涂一层光刻胶，并对带有光刻胶的蓝宝石衬底进行前烘处理后，在所述光刻胶上分别形成亚微米结构且相互垂直的第一光栅图形及第二光栅图形，再对经上述步骤处理后蓝宝石衬底进行显影处理，得到点阵结构周期图形样品，将所述点阵结构周期图形样品进行后烘、干法刻蚀、清洗后得到所述蓝宝石图形化衬底。通过本发明提供的蓝宝石图形化衬底的制备方法，能够制备得到亚微米级的图形化蓝宝石衬底，从而可以提高GaN基LED的外延质量...
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