技术编号:7265922
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种基板处理设备包括处理室,用于处理基板;屏蔽件,位于处理室的内壁;以及连接件,使屏蔽件附着到处理室的内壁。连接件包括分别位于处理室内壁的和屏蔽件的相对表面上的凹槽和突起。专利说明基板处理设备[0001]本申请要求于2013年I月9日在韩国知识产权局(KIPO)提交的第2012-0002504号韩国专利申请的优先权和权益,该申请的公开通过引用全部包含于此。[0002]本发明的多个方面涉及一种基板处理设备。背景技术[0003]基板处理设备可以用于处理诸如玻璃...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。