技术编号:7272175
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于机电结合领域,为单自由度、多自由度直线和旋转精密驱动器。技术背景近年来,由于微电子学、光学、生物医学工程、IC和超导、数据存储、超精密加工及精密测量等技术的迅猛发展,人们对微纳米级的精密定位和驱动技术有着越 来越多的需求。因此基于不同原理和结构的精密驱动器的研发受到人们普遍的关 注。目前的压电惯性驱动机构主要是利用压电元件的逆压电效应,采用非对称波形 激励,形成双向非对称的惯性冲击力,与固定的摩擦力配合及适当机械结构的有机 结合,通过电路系统...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。