技术编号：72839
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种，其在振动探针尖的同时通过扫描样品表面上的探针尖而获得所述表面特性的信息，例如样品的表面形貌。背景技术如本领域中熟知的，扫描探针显微镜如原子力显微镜和扫描隧道显微镜作为一种已知的测量仪器，用于测量例如显微镜区域内的电子材料的样品以及成像所述样品的表面形貌或测量表面特性信息。不同的仪器都被提供作为这种类型的扫描探针显微镜。一个公知的仪器是超低力原子力显微镜(AFM)，其用于在振动垂直于样片表面的探针尖的同时通过扫描平行于样品表面的探针尖而检测样品表面形貌(例如，见专利参考文献1)。这种超低力AF...
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