技术编号:7285234
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种光热驱动微马达,用于微纳米高速、小步距驱动。背景技术近年来,科学技术发展的一个重要趋势是朝快速度、大容量和微型化方向飞速迈进。其中尤以微/纳米技术、微型机械技术、光学与光电子技术等的发展为主要代表。在许多特殊领域,需要采用特种性能的电机(或称马达)作为动力源和运动源。如在光学与精密机械系统中用于元器件的精确驱动和定位的马达,要求速度高、响应快、尽可能小型化;在航天器和空间卫星上采用的电机,既要求力矩大、效率高,又要求重量轻、体积小、寿命长...
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