技术编号:7286374
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及用于直线电动机(linear motor)的线圈组和使用这种线圈组的直线电动机。背景技术 直线电动机主要用于自动化系统和光刻台中。它们可以分为两类铁芯电动机和无铁电动机。对于无铁电动机而言,主要部件是磁轨(magnet track)和多个绕组,磁轨具有至少一排有着周期性变化磁场的永磁铁,向绕组施加电流,于是诱发出洛伦兹力,使得两个部件彼此相对运动。根据直线电动机的设计,磁轨可以是静止的,多个绕组运动,或者反之。大多数无铁直线电动机所具有的磁...
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