技术编号：7287119
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电机控制领域，尤其涉及光刻机伺服控制中的双环结构的数字可调直流电机控制器。背景技术 光刻是集成电路加工过程中最关键的工序，因此光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。目前比较先进的步进扫描投影光刻机的基本原理见图1和图2，图1为像场与狭缝曝光区域示意图，区域10为像场，其范围大于普通的步进重复光刻机，步进重复光刻机像场通常为22*22mm2，步进扫描光刻机可达到26*33mm2，阴影所示区域11为狭缝曝光区域。图2为步进扫描投影光刻机工作状态示意...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。