技术编号:7292433
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种压电作动器,具体涉及一种输出动态微角位移的压电作动器。背景技术基于压电材料的作动器已经广泛应用于微电子技术、生物工程、航天工程等领域。具有结构紧凑,控制精度高的特点。但是目前所使用的压电作动器多是只能输出直线位移的作动器。在需要输出微转角的场合,单纯的使用直线作动器存在一定的局限性,限制了压电堆作动器的使用。发明内容本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种输出动态微角位移的压电作动器,该作动器结构紧凑,体积小,重量轻,可直接输出高精度微转...
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