技术编号:7295366
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及到一种多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路。背景技术光伏发电所需的多晶硅材料目前大部分采用“改进型西门子还原法”生产,即采用氢气作为还原剂,在1100°c 1200°C的温度下,还原三氯化硅或四氯化硅,沉积形成多晶硅棒。随着炉内温度的升高,硅棒截面积的增大,硅棒的电阻不断下降。而要维持还原反应的温度,必须保持加热功率不变。因此,必须根据硅棒的电阻值来调节加在硅棒两端电压。在外部电源输入端,一般通过切换变压器输出的多个绕组实现电压的调节。多晶硅棒...
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