技术编号:7303328
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用了薄壁隔膜部的振动特性的压电/电致伸缩性元件。 背景技术作为这种压电/电致伸缩性元件,已知的有利用了上述薄壁隔膜部的弯曲 变位的促动器和检测接近该薄壁隔膜部的介质的特性(例如,流体特性、音压、 微小重量、加速度等)的传感器(如麦克风和粘度传感器)等。在特开平8-201265号公报(专利文献1 )、特开2002-261347号公报(专 利文献2)、特开2005-322890号公报(专利文献3)中^^布了作为上述传感器 的上述压电/电致伸缩膜型元...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。