技术编号：7313101
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于芯片光刻定位的高速、高精度表面电机，特别涉及一种动磁型同步表面电机。背景技术 随着微米、纳米技术的不断发展，在微型机械的制造和装配、精密测量、超精密加工、集成电路芯片光刻和扫描隧道显微镜等领域越来越需要高效率和高精度的平面驱动装置。传统的平面驱动装置由两组旋转电机驱动的直线运动转换机构叠加而成。由于直线运动转换机构存在摩擦、侧隙、变形等一系列问题，使得传统平面驱动装置的定位精度和效率难以达到较高的水平。另外，传统的平面驱动装置多采用层叠式...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。