技术编号:73147
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及纳米尺度下样品形貌与性质感知技术,具体地说是一种基于扫描探针显微镜光电信号的。 背景技术自1986年,葛.宾尼等发明了扫描探针显微镜(SPM),让人们的视野从微米尺度进入到纳米尺度,让人们探索纳米世界下的奥秘。1纳米是10-9米,这是任何光学显微镜所不能分辨到的尺度,SPM作到了这一点,但是目前市场上任何商用的SPM只能用图像的方式来表示样品的表面形貌和性质,只能提供给人一副副静态的图像,为了加深人们对纳米尺度下物体表面形貌的认识,人们利用扫描过程中的各种光电信号来成像,比如误差信号,PSD(四...
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