技术编号:7318659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种监测装置,尤其涉及一种电源监测装置。 背景技术众所周知,在半导体制造过程中,投入成本是相当高的,设备动辄上千万,为降低 成本提高效率,半导体制作设备往往都是连续工作不停的,一旦因为故障停止流水线,重新 启动需要耗费相当长的时间和成本的,并且制造过程中用到多种化学气体和液体,一旦因 失误导致泄漏,影响是非常恶劣的,因此半导体工业非常重视报警系统,往往将设备与生产 安全上的监测报警是放在第一位。常用的报警装置是各种传感器,如漏水传感器等,这些...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。