技术编号:73233
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种高精密带双边直线电机同步驱动的H型气浮工作台。 背景技术在微电子制造领域和精密测量领域,要求运动执行机构在大惯量、高速运动时具有高的定位精度。目前,多采用直线导轨或者滚珠丝杠等传动机构来实现精密定位。随着气体轴承技术日臻成熟,气浮工作台也逐渐开始应用到各个领域。气浮导轨是气体轴承的一种应用形式,气体轴承是用气体作为润介质,它具有速度高、精密度高、摩擦损耗小,是理想的支承和传动元件。 发明内容 本发明的目的是提供一种带双边直线电机同步驱动的H型气浮工作台,该工作台采用一台直线电机驱动X轴运...
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