技术编号:7330256
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及经冷却剂冷却的直线电动机。 背景技术传统方式中,已经提出了一种在工厂自动化设备中使用以驱动半导体曝光装置或 液晶曝光装置的载物台(stage)或进给机床的工作台的直线电动机。为了实现进给操作或 处理操作的速度和精度的提高,直线电动机包括组成场磁体的永磁体和具有面对磁空间中 的永磁体的磁极表面的电枢绕组的电枢。直线电动机的电枢包括电枢绕组、用于放置电枢绕组并将其固定在适当位置的基 板、用于将基板固定在适当的位置的框架(frame)以及用于密封该框架...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。