技术编号：7331229
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种多足箝位式压电电机，属于压电精密致动电机的。 背景技术近年来，随着微/纳米技术的高速发展，众多工程和的研究都迫切的需 要亚微米级、微/纳米级的超精密驱动。传统的步进电机功率一重量比低，而且电机高速运 转后需要减速装置变速，致使传动系统复杂，结构累赘。随着科学技术的发展，人们研制出 各种功能材料，其中，压电陶瓷(PZT)以其相对优越的性能使得压电精密作动器的研究得到 了广泛关注，并在许多领域得到了应用。压电精密作动器主要分为两类超声电机和蠕动式精...
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