技术编号:7333492
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种S形多足箝位式压电电机及其工作模式,属于压电精密致动。背景技术随着微/纳米技术的发展,众多工程和的研究都迫切的需要亚微米级、 微/纳米级的精密作动器。基于电磁感应原理的电磁电机在微型化,高功重比的发展方向上很难突破原理的局限。随着材料科学的发展,新型功能材料为这些应用提出了新的解决方案,其中,逆压电效应的发现及具有优越性能的压电陶瓷(PZT)材料的出现使得压电精密作动器的研究得到了广泛关注,并在精密作动领域显示出了广泛的应用前景。压电陶瓷作为作...
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