技术编号:7333903
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电磁支撑装置。 背景技术现代精密、超精密加工装备对高响应、高速度、高精度的多自由度工作台有着迫切的需求,如机械加工、电子产品生产、机械装卸、制造自动化仪表设备甚至机器人驱动等。通常这些装置由旋转式电动机产生动力驱动,再由皮带、滚珠丝杆等机械装置,转换为直线运动。由于机械装置复杂,传动精度和速度都受到限制,且需经常调校,造成成本高、可靠性差、体积较大。最初的多自由度工作台是由两台直接驱动的直线电机来实现的,采用层叠式驱动结构,这种结构增加了传动...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。