技术编号:7335939
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种带气浮导轨的永磁直线同步电机,属于直线电机。 背景技术永磁直线同步电机驱动的XY气浮工作台,在半导体光刻、PC板检查和钻孔、晶片处理加工、离子注入、电子装配及坐标测量等精密伺服领域具有广泛的应用。作为XY气浮工作台的驱动电机,永磁直线同步电机具有大惯性、高速度、高精度及大推力等特点,同时, 电机的温升也能够实现良好的控制,以阻止电机的铜耗散热到外界环境,影响整个系统的分辨率。与驱动XY气浮工作台运动所用的无铁芯永磁直线电机相比较,动电枢型永磁...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。