技术编号:7339277
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种驱动电机,特别是涉及一种定位负载的直线电机。 背景技术直线电机目前广泛用于电子元件和半导体设备制造中的负载定位。采用直接驱动的主要优点是加速度更大、速度更快、精度更高、移动质量减小、设计简洁,无需复杂的传输系统,可靠性更高,不存在传动装置活动部件的磨损。动圈式直线电机是定位XY工作台常用的一种直线电机类型,俗称无铁芯直线电机。无铁芯直线电机仅包括模压在一起形成线圈组得若干铜线圈,不合钢铁叠片。虽然该类型的直线电机已得到广泛使用,但这种电机的缺...
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