技术编号:7346170
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。[问题]为了能够在高精度地执行光学模块的位置调整的同时容易制造伺服马达。[解决手段]光学模块(120)包括用于接收来自旋转盘(110)的同心圆隙缝(CS1)的发射光的位置调整用受光元件(150UL、150UR);和在径向上与位置调整用受光元件(150UL、150UR)不同的位置处、用于接收来自同心圆隙缝(CS2)的反射光的位置调整用受光元件(150D)。通过以位置调整用受光元件(150UL、150UR)的输出大致相等的方式驱动旋转马达(175),来执行光学...
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