技术编号:7350082
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在此提供一种装置的实施方式,所述装置用于控制处理腔室中的静电夹具的温度。在一些实施方式中,装置包含静电夹具,所述静电夹具设置于处理腔室中,所述静电夹具包含陶瓷板,所述陶瓷板具有基板支撑表面;以及冷却组件,所述冷却组件包含多个冷却板,所述多个冷却板设置于所述静电夹具之下以调整所述静电夹具的冷却能力。在一些实施方式中,所述多个冷却板包含内冷却板与外冷却板,所述内冷却板配置成用以控制所述静电夹具的中心部分的温度,所述外冷却板配置成用以控制所述静电夹具的外部分的温...
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