技术编号:7351036
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。此处公开的本发明涉及阻抗匹配,更具体地说,涉及一种在诸如等 离子体系统、核磁共振系统、通信系统和输电线路等电气系统中使用的 阻抗匹配方法,以及一种实施该阻抗匹配方法的系统。背景技术如果电源和负载之间的阻抗失配,向负载的供给电能就不会最大化, 而且也不能进行精确的供电控制。因此,诸如等离子体系统、核磁共振 系统、通信系统、高频感应加热装置和输电线路等的电气系统在电源和 负载之间包括阻抗匹配网络,以克服上述阻抗失配。例如,用于制造半 导体装置的等离子体腔系统包...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。