技术编号:7355490
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及一种具有洛仑兹致动器的光刻设备以及一种洛仑兹 致动器。背景技术光刻设备是一种将所需图案施加到衬底上、通常施加到衬底的目标部分上的机器。光刻设备例如可用在集成电路(ic)制造中。这种情况下, 可替换地称作掩模或掩模版的图案形成装置可用于产生将形成在ic的单层上的电路图案。该图案可被转移到衬底(例如硅晶片)上的目标部分(例 如包括部分管芯、 一个或几个管芯)上。图案的转移通常经由成像到提供 在衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上而进行。 一般,单个...
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