技术编号：7368496
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种具有真空罩的动圈式磁浮平面电机，主要应用于半导体光刻设备中。该动圈式磁浮平面电机含有动子、定子、载物台、真空罩和真空泵。动子含有通电线圈阵列，通电线圈阵列与载物台连接；定子含有永磁体阵列和基座，永磁体阵列设置在基座上。通电线圈阵列悬浮于永磁体阵列的正上方，并与所述的永磁体阵列留有间隙。所述的动子和载物台设置在真空罩的内部；真空罩与基座密封连接。本实用新型不仅具有结构简单、紧凑、质心驱动、微动台动子惯量小等特点，而且由于将动子和载物台设置在真空罩内，从而...
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